真空ポンプや真空装置はアトーテック

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■真空機器　小型真空アーク溶解炉

■開発・研究に適したエコノミータイプ
■コンパクトで低価格
■手軽に母合金等の溶解ができます

用途
磁性材料、熱電素子材料、電池材料、生体材料、マイクロマシン、リサイクル

本装置はアルゴンガス雰囲気中(減圧)にて、種々の金属材料をアーク溶解によって生成する事を目的とします。

ＡＣＭ－Ｃ０１標準仕様
溶解室	円筒横型前面開閉扉式真空チャンバ(水冷ジャケット式) 寸法　約φ280×Ｌ280 材質　ＳＵＳ３０４到達圧力　2×10^-3Pa台(試料無挿入脱ガス完了後常温時) 排気速度　1×10^-2Pa迄15min以内(試料無挿入脱ガス完了後常温時) 水冷電極試料反転棒 φ97覗窓内部照明ガス導入弁
銅鋳型形状	ボタン式φ35×t10　φ25×t10 棒状　10×L50×t10
真空排気系	排気ユニット　高真空排気装置　ＤＳ－２１２Ｎ真空計　電離真空計　ＣＴ－２Ｐ圧力計　-0.1～0.1Mpa
電気系	直流アーク電源　ＭＲＨＰ－３００定格出力電流　300A 定格仕様率　40％制御方式　ＩＣ－サイリスタ制御
安全対策	断水リレー安全弁
ユーティリティー	本体設置スペース　約W1200×D1200×H1500 Arガス　0.2～0.3MPa 冷却水　0.13～0.15MPa　15L／min以上電源容量　３φ　200V　16KVA　(アーク電源) 　　　　　１φ　100V　2.8KVA　(排気ユニット・制御系)
オプション	デジタル電圧電流系
注意事項	アーク電源にはノーヒューズブレーカ(ＮＦＢ)が付いておりませんので一次側電源にご用意ください。
溶解時間	190Aで10分間

■真空機器　小型アーク溶解炉

仕様
溶解量　Ｆｅ換算５００g
溶解室　ＳＵＳ３０４　200×200H
銅ハース　各種ボタン、棒状など形状任意
真空排気系　ＤＳ－３１２Ｚ(大亜真空製)
油拡散ポンプ　ＤＰＦ－３Ｚ(360L／sec) 油回転ポンプ　(150L／min)
オイルミストトラップ　Ｇ－３４０
真空計　ＩＴ－Ｌ２０Ｐ(大亜真空製)
到達圧力　×１０^-6Torr
アーク電源　入力３φ23KVA，電流500A
電気容量　3200V25KVA，100V1KVA
冷却水　20L／min
水圧　1kg／cm²　以上

■真空機器　バルクアモルファス作成装置

■研究・開発に適した小型エコノミータイプ
■高強度、強耐食性で微細加工が必要な新素材、特にマイクロマシーン用素材等の作製に最適です。
■操作性が良く、簡単に円柱あるいは板状のアモルファス合金を作成することができます。
■鋳型を簡単に交換する事でボタン状母合金の溶解用として使用できます。

アーク溶解とアモルファス薄帯
水冷銅ハース上で様々な金属を溶解する方法としてアーク放電を利用した溶解は極めて容易に合金が作成できます。金属を各種の方法で溶解後、急冷する事によってアモルファス薄帯が容易に得られる事は良く知られています。
このアモルファス薄帯作成には約10⁵K/s以上の急冷速度が必要とされ、単ロール法等が利用されております。

バルクアモルファス合金
最近、上記のような超急冷を必要としない(冷却速度0.1～100K/s)、薄帯でなくバルク形状のアモルファス合金が作成できるようになりました。バルク合金のため加工、成型による様々な用途開発が期待されている金属であります。
Zr系、Fe系、Ti系、Pd系、Co系、Nd系など多くのアモルファス合金が今日まで見出され、更なる合金組成の研究が活発に行われております。

装置の概要
銅ハース上で中心にZr系金属の溶湯をプランジャーを引き下げる事で、瞬時に鋳型へ注入し、バルクアモルファス合金を作成することができます。
丸棒はφ16×L80、板材はt5×W18×L100等が鋳型の交換で作成可能です。
また本装置は鋳型を交換することによりバルクアモルファス合金の他に、多元金属のボタン、母合金作成等の機能をもっており操作性が良く、効率的に試料を作成する事ができます。

アトーテックは真空ポンプをはじめとし、超微粒子ナノ粒子製造装置、真空バルブ、真空計、真空部品を取り扱い、真空装置の設計製作を行っています。