真空装置 ターボ分子ポンプ


真空装置 ターボ分子ポンプ


真空装置(ターボ分子ポンプ)をお探しの方へ。アトーテックでは、真空装置の設計や製作を行っております。真空装置の取り扱いや残留ガスでお悩みの方、リークチェックやメンテナンスをお考えの方、原理や圧力、排気時間や仕組みに興味のある方も是非どうぞ。取扱い商品は以下をご参照下さい。真空装置 ターボ分子ポンプ

<破面蒸着保護膜形成装置>
本装置は各種金属、合金材料などを極高真空中(X10-9Pa)で低温(~100K)にして機械的衝撃により破断させた後直ぐに破面にNi等の真空蒸着を行う為に開発された装置です。これに、材料の脆性破壊で生じた破面をそのまま保護することが出来るため3次元アトムプロープ観察等による破面の各種分析を行う事ができます。構成は、1. メインチャンバー、2. 試料交換室、3. 真空排気系 RP(150L/min)、TMP(550L/sec、60L/sec)ゲード弁(CF203、CF152)アクターポンプ(ULVAC)(PST-200AXII型N20.2m3/s)、4. 極高真空計 AXTRAN(ULVAC)(10-11Pa台)、5. Kセルタイプ蒸発源となります。

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<電子ビーム真空蒸着装置>
本装置は、前進的な試料作りを目的とし清浄高真空中で電子ビームにより特にMg合金を初めとする全ての金属に適した蒸着装置として開発された装置です。特長は以下の通りです。1. 真空排気系はTMP80L/secとRP50L/minの組合わせで、全て電磁バルブを使用した全自動排気系であります。2. 到達圧力は液体窒素トラップ無しで10 -5Paに入ります。3. メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上します。真空装置(ターボ分子ポンプ)をお探しの方も参考にしてみて下さい。

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