アトーテックは真空ポンプをはじめとし、超微粒子・ナノ粒子製造装置、真空バルブ、真空計、真空部品を取り扱い、真空装置の設計製作を行っています。

アトーテック株式会社
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真空拡散接合装置

■真空機器 微拡散接合装置
仕様
加圧方式:分銅+テコによる加重方式
過熱寸法:40φx40H
過熱方式:高周波、プログラム式温度調節
最高過熱温度:1400℃
真空度:x10-5PA
高周波電源:20KW

■高周波加熱式拡散接合炉
用途
φ30までの各種金属類の拡散接合に使用。

仕様
加圧能力:1Torr
常用圧力:10-4Pa
常用加熱温度:1300℃
加熱長:φ30x100mm
高周波電源:20KW